技术原理
微流红外传感检测技术的工作原理如右下图所示，首先红外光源发出的红外光经过切光器进入测量气室，CO2、CH4、N2O、CO 等异种原子构成的分子对红外光具有不同的吸收特性，若测量气室中存在上述气体，则进入测量气室的部分红外光会被吸收，未被吸收的红外光进入检测器。检测器由前气室、后气室、微流传感器组成，前、后气室充满待测组分的气体。在红外光的作用下，检测器前、后气室中的气体发生膨胀；因为存在膨胀差异，所以会导致前、后气室之间产生微小的流量；微流传感器检测到该流量后，会产生一个交流电压信号，经信号处理后得到气体实时浓度。
创新性的隔半气室进一步提高微流红外气体传感器的稳定性和低量程测量精度，从而在一个红外光源和微流红外探测器结构内，实现对待测气体的参比测量。该技术克服了水分干扰、采用单气室造成的测量稳定性差、采用独立双气室工艺结构复杂等难点问题。
